開幕光子與老鷹半導體申請半導體工藝監控方法專利，更快速準確獲取關鍵信息

金融界2025年7月22日消息，國家知識產權局信息顯示，杭州開幕光子技術有限公司、浙江老鷹半導體技術有限公司申請一項名爲“一種半導體工藝監控方法”的專利，公開號CN120356840A，申請日期爲2025年06月。

專利摘要顯示，本申請提供了一種半導體工藝監控方法，通過在半導體樣品表面濺射金屬形成薄膜，並在目標區域沉積標記材料形成標記層，覆蓋目標工藝的作用空間。隨後進行封膠處理，並通過去除處理至標記層，露出包含目標工藝效果的目標面，最後利用掃描電鏡進行掃描獲取可用於評價目標工藝效果的圖像。該方法通過標記層的設置，確保了目標區域在去除處理中的統一性，避免了邊緣破壞；標記層明確了去除終點位置，使得能夠準確露出反應目標工藝效果的斷面，爲工藝優化提供了可靠依據。相比傳統掃描電鏡斷面觀測技術，本方法能夠更快速、準確地獲取關鍵信息，有助於提升半導體產品的良品率和性能穩定性。

天眼查資料顯示，杭州開幕光子技術有限公司，成立於2024年，位於杭州市，是一家以從事計算機、通信和其他電子設備製造業爲主的企業。企業註冊資本1000萬人民幣。通過天眼查大數據分析，杭州開幕光子技術有限公司專利信息29條。

浙江老鷹半導體技術有限公司，成立於2018年，位於紹興市，是一家以從事計算機、通信和其他電子設備製造業爲主的企業。企業註冊資本4184.1225萬人民幣。通過天眼查大數據分析，浙江老鷹半導體技術有限公司共對外投資了4家企業，參與招投標項目8次，財產線索方面有商標信息6條，專利信息76條，此外企業還擁有行政許可8個。

本文源自：金融界

作者：情報員