武漢衡慣申請MEMS慣性器件結構及製作方法專利，提高MEMS慣性器件製作良率

金融界2025年8月15日消息，國家知識產權局信息顯示，武漢衡慣科技發展有限公司申請一項名爲“MEMS慣性器件結構及製作方法”的專利，公開號CN120483031A，申請日期爲2025年07月。

專利摘要顯示，本發明涉及一種MEMS慣性器件結構及製作方法；包括從上至下依次鍵合的上蓋板、器件層和基底，所述器件層具有敏感刻蝕區域和非敏感區域，所述敏感刻蝕區域經刻蝕形成有慣性器件敏感結構，所述非敏感區域設有劃片道，所述劃片道上經刻蝕形成有第一刻透區，所述基底上設有多個測試PAD，所述第一刻透區位於多個所述測試PAD的正上方。本發明預先進行第一刻透區的開設，器件層與基底鍵合後，基底上方的器件層無需劃，即可將基底上的測試PAD露出來，避免了劃片刀接觸到基底金屬線風險，提高了MEMS慣性器件製作良率。

天眼查資料顯示，武漢衡慣科技發展有限公司，成立於2021年，位於武漢市，是一家以從事軟件和信息技術服務業爲主的企業。企業註冊資本500萬人民幣。通過天眼查大數據分析，武漢衡慣科技發展有限公司財產線索方面有商標信息4條，專利信息40條，此外企業還擁有行政許可1個。

本文源自：金融界

作者：情報員