東方晶源申請晶圓表面形貌圖像成像相關專利，能夠得到晶圓更真實的形貌特徵

金融界2025年6月13日消息，國家知識產權局信息顯示，東方晶源微電子科技（北京）股份有限公司申請一項名爲“晶圓表面形貌圖像成像方法、裝置、設備、介質及產品”的專利，公開號CN120149185A，申請日期爲2025年03月。

專利摘要顯示，申請公開了一種晶圓表面形貌圖像成像方法、裝置、設備、介質及產品，應用於集成電路技術領域。本方法中，通過波形發生器以一定頻率採集探測器輸出的第一電壓信號。由於探測器的信號不是瞬時的，存在拖尾現象，則上一個像素點的信號會影響下一個像素點的信號；因此，本申請會從多個第一電壓信號中，篩選出處於目標時段中的第二電壓信號；進而生成灰度圖像。由於目標時段爲信號採集時段中預設時長之後的時段，因此這段時間內的信號受上一個像素點的影響較小甚至不受影響。可見，本實現方式在採集信號時，將信號採集時段中靠前的信號舍棄，而僅採用不受影響的後半段信號，使得采用的信號更加準確，進而能夠得到晶圓更真實的形貌特徵。

天眼查資料顯示，東方晶源微電子科技（北京）股份有限公司，成立於2014年，位於北京市，是一家以從事計算機、通信和其他電子設備製造業爲主的企業。企業註冊資本36401.6097萬人民幣。通過天眼查大數據分析，東方晶源微電子科技（北京）股份有限公司共對外投資了7家企業，參與招投標項目24次，財產線索方面有商標信息159條，專利信息300條，此外企業還擁有行政許可18個。

本文源自：金融界

作者：情報員