喆塔科技申請晶圓缺陷檢測方法相關專利，基於多層次蒸餾模型實現多層次特徵蒸餾

金融界2025年7月5日消息，國家知識產權局信息顯示，合肥喆塔科技有限公司;上海喆塔信息科技有限公司申請一項名爲“晶圓缺陷檢測方法、裝置、設備及存儲介質”的專利，公開號CN120259243A，申請日期爲2025年04月。

專利摘要顯示，本發明屬於半導體檢測技術領域，公開了一種晶圓缺陷檢測方法、裝置、設備及存儲介質。該方法包括：將待檢測晶圓圖像切割成多個子圖；對子圖進行尺寸統一化處理，並通過預訓練的編碼器提取子圖的多層級特徵圖；從不同層級的特徵圖中採樣相同尺寸的特徵圖並進行堆疊，將堆疊後的圖像輸入全局解碼器和局域解碼器進行多層次特徵提取；將全局解碼器與局部解碼器提取的特徵輸入混合解碼器進行特徵融合，生成預測缺陷熱圖；基於預測缺陷熱圖確定晶圓缺陷位置。通過上述方式，基於多層次蒸餾模型實現了從宏觀全局特徵到微觀細節信號的多層次特徵蒸餾，既保留了對微小缺陷的敏感性，又避免了傳統模型因層級信息割裂導致的誤檢問題。

天眼查資料顯示，合肥喆塔科技有限公司，成立於2021年，位於合肥市，是一家以從事科技推廣和應用服務業爲主的企業。企業註冊資本1213.09萬人民幣。通過天眼查大數據分析，合肥喆塔科技有限公司共對外投資了5家企業，參與招投標項目5次，財產線索方面有商標信息3條，專利信息35條，此外企業還擁有行政許可4個。

上海喆塔信息科技有限公司，成立於2017年，位於上海市，是一家以從事軟件和信息技術服務業爲主的企業。企業註冊資本4000萬人民幣。通過天眼查大數據分析，上海喆塔信息科技有限公司共對外投資了3家企業，參與招投標項目16次，財產線索方面有商標信息2條，專利信息22條，此外企業還擁有行政許可1個。

本文源自：金融界

作者：情報員