蘇州賽騰申請晶圓檢測裝置及檢測方法專利，能夠精準高效地檢測晶圓

金融界2025年7月15日消息，國家知識產權局信息顯示，蘇州賽騰精密電子股份有限公司申請一項名爲“晶圓檢測裝置及檢測方法”的專利，公開號CN120319681A，申請日期爲2025年06月。

專利摘要顯示，本發明公開了一種晶圓檢測裝置及檢測方法，屬於晶圓檢測領域，其包括：旋轉臺，適於承載吸附晶圓，並帶動晶圓旋轉；定位機構，適於在晶圓旋轉過程中檢測晶圓的偏移量；調整機構，適於將晶圓頂升離所述旋轉臺，並響應於所述定位機構所檢測到的偏移量，帶動頂升後的晶圓沿第一水平方向和垂直於第一水平方向的第二水平方向微調晶圓；第一檢測機構，用於檢測晶圓的邊緣；第一支撐機構，位於晶圓下方，且與所述第一檢測機構檢測區域內的部分晶圓相對應，所述第一支撐機構適於向上靠近並支撐晶圓的邊緣；晶圓適於在所述旋轉臺的帶動下旋轉，以使其周緣的各部分均流經所述第一檢測機構的檢測區域。

天眼查資料顯示，蘇州賽騰精密電子股份有限公司，成立於2007年，位於蘇州市，是一家以從事計算機、通信和其他電子設備製造業爲主的企業。企業註冊資本19991.1648萬人民幣。通過天眼查大數據分析，蘇州賽騰精密電子股份有限公司共對外投資了14家企業，參與招投標項目7次，財產線索方面有商標信息50條，專利信息777條，此外企業還擁有行政許可21個。

本文源自：金融界

作者：情報員