中科飛測申請晶圓表面污染缺陷檢出方法及裝置專利，在背景噪聲較大動態範圍等條件下仍能穩定檢出缺陷和缺陷輪廓

金融界2025年7月15日消息，國家知識產權局信息顯示，深圳中科飛測科技股份有限公司申請一項名爲“一種晶圓表面污染缺陷檢出方法及裝置”的專利，公開號CN120318181A，申請日期爲2025年03月。

專利摘要顯示，本發明涉及晶圓檢測技術領域，具體提供一種晶圓表面污染缺陷檢出方法及裝置，對目標晶圓進行暗場拍攝，獲取該晶圓的表面暗場散射圖像，遍歷暗場圖像中的每一個像素，通過設定鄰域和SNR估算計算形成SNR估計圖，通過雙閾值原理對SNR估計圖進行全局閾值分割，獲得低閾值二值圖和高閾值二值圖，遍歷低閾值二值圖中的連通區域，若連通區域內存在至少一個像素在高閾值二值圖中被標記爲缺陷，則將該連通區域內所有像素標記爲真實缺陷，否則標記爲僞缺陷。

天眼查資料顯示，深圳中科飛測科技股份有限公司，成立於2014年，位於深圳市，是一家以從事儀器儀表製造業爲主的企業。企業註冊資本32000萬人民幣。通過天眼查大數據分析，深圳中科飛測科技股份有限公司共對外投資了12家企業，參與招投標項目260次，財產線索方面有商標信息253條，專利信息969條，此外企業還擁有行政許可39個。

本文源自：金融界

作者：情報員