芯源微取得晶圓刻蝕設備的密封結構專利，有效保證密封效果

金融界2025年4月10日消息，國家知識產權局信息顯示，瀋陽芯源微電子設備股份有限公司取得一項名爲“一種晶圓刻蝕設備的密封結構”的專利，授權公告號 CN 222735915 U，申請日期爲2024年4月。

專利摘要顯示，本實用新型屬於晶圓刻蝕設備技術領域，具體地說是一種晶圓刻蝕設備的密封結構，適用於晶圓刻蝕設備的電機防護罩與升降 CUP，電機防護罩的外周邊緣開設有密封圈安裝槽，密封圈安裝槽中鑲嵌有密封圈，升降 CUP 的頂端開口處向靠近電機防護罩的內側方向延伸有密封圈壓接沿。本實用新型可使電機防護罩與降下的升降 CUP 相接形成階梯式密封結構可有效保證降下到最低位置的升降 CUP 與電機防護罩之間的密封效果，避免刻蝕工藝後期使用的藥液流入升降 CUP 與電機防護罩之間的間隙，能夠充分順着降下的升降 CUP 的外側面經由位於升降 CUP 的外側的流路流走並被回收，且可避免在電機防護罩與降下的升降 CUP 之間造成存液，有效提高藥液回收效果。

天眼查資料顯示，瀋陽芯源微電子設備股份有限公司，成立於2002年，位於瀋陽市，是一家以從事計算機、通信和其他電子設備製造業爲主的企業。企業註冊資本20096.6966萬人民幣，實繳資本6300萬人民幣。通過天眼查大數據分析，瀋陽芯源微電子設備股份有限公司共對外投資了6家企業，參與招投標項目299次，財產線索方面有商標信息32條，專利信息593條，此外企業還擁有行政許可61個。

本文源自：金融界

作者：情報員