拓荊科技申請加熱臺升降裝置及半導體設備專利，增強加熱臺升降控制

金融界2025年6月28日消息，國家知識產權局信息顯示，拓荊科技（上海）有限公司申請一項名爲“一種加熱臺升降裝置及半導體設備”的專利，公開號CN120210784A，申請日期爲2025年05月。

專利摘要顯示，本發明公開了一種加熱臺升降裝置及半導體設備，該裝置用於驅動加熱臺升降，加熱臺固定安裝於升降底座上，裝置包括：驅動機構，用於驅動升降底座上下運動；導軌機構，包括豎向對稱設置於所述升降底座兩側的導軌單元；同軸度調整機構，與升降底座連接，包括X軸調節組件和Y軸調節組件，X軸調節組件用於在X軸方向對升降底座進行調節，Y軸調節組件用於在Y軸方向對升降底座進行調節。本發明通過對稱分佈的導軌單元可以避免由於大氣及真空狀態差異導致的驅動機構變形，避免加熱臺偏斜，還通過同軸度調整機構對升降底座的X軸方向和Y軸方向分別進行，避免座標系合成的問題，由此達到增強加熱臺升降控制的效果，進而提高薄膜工藝設備的加工性能。

天眼查資料顯示，拓荊科技（上海）有限公司，成立於2020年，位於上海市，是一家以從事零售業爲主的企業。企業註冊資本143253.79萬人民幣。通過天眼查大數據分析，拓荊科技（上海）有限公司參與招投標項目20次，財產線索方面有商標信息1條，專利信息261條，此外企業還擁有行政許可29個。

本文源自金融界