全國首臺國產商業電子束光刻機在杭“出爐”
據“杭州經信”消息,近日,位於杭州城西科創大走廊的浙江大學成果轉化基地傳出喜訊:作爲基地首批簽約孵化的項目之一,首臺國產商業化電子束光刻機已在客戶現場進入應用測試,其精度比肩國際主流設備,標誌着量子芯片研發從此有了“中國刻刀”。
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