首臺國產商業電子束光刻機進入應用測試 產業鏈有望迎全新投資機遇

近日，作爲基地首批簽約孵化項目之一，全國首臺國產商業電子束光刻機“羲之”已進入應用測試，其精度比肩國際主流設備，標誌着量子芯片研發從此有了“中國刻刀”。

愛建證券指出，SEMI數據顯示，2024年全球光刻設備市場規模達295.7億美元，Mordor Intelligence預計全球光刻機市場規模到2029年將達378.1億美元，2024-2034複合增長率爲5.0%。在國產半導體產業鏈的通力合作下，越來越多的國產光刻機產業鏈企業取得顯著進展，建議關注相關的投資機會。

據財聯社主題庫顯示，相關上市公司中：

博衆精工表示，2024年下半年博衆儀器正式發佈熱場發射電子源、高穩定度直流高壓電源和高穩定度恆流源，這些產品不僅是透射電子顯微鏡的關鍵部件，還可以用於掃描電鏡、聚焦離子束、電子束光刻機等領域設備。

路維光電90nm、40nm在光刻機方面都需要使用電子束光刻機搭配幹法制程技術，公司已經針對半導體掩膜版在電子束光刻、幹法制程等技術方面開展了相應研究，不斷進行技術突破。