資騰聚焦先進製程與綠色創新 四大應用搶攻智慧半導體新局

資騰將於SEMICON Taiwan 2025展示四大先進製程與綠色創新應用亮點。圖／資騰提供

在先進製程邁向High-NA EUV、ESG成爲製造標配的關鍵時刻，佳世達集團羅升旗下資騰科技整合全球技術與在地導入經驗，於SEMICON Taiwan 2025展示四大先進製程與綠色創新應用亮點，包括VOCs 液化回收系統、Fractilia FAME 300、液體即時監控平臺與臭氧水設備，協助客戶從量測邁向控制。

資騰將於2025年9月10日至12日在臺北南港展覽館1館4樓，攤位編號M0134，專注半導體制程與設備解決方案，展出多項創新技術與永續製程關鍵設備，爲產業帶來高效率、潔淨且低碳的製程解決方案。

資騰總經理陳國榮表示：「憑藉累積深厚的品牌信任與技術實力，此次與國際夥伴合作，不僅深化價值鏈，也是助力高階製程良率提升、參與AI發展與邁向碳中和的關鍵節點。」

資騰展出的亮點包括

Morikawa VOCs液化回收系統：成功導入AI伺服器雙相浸沒式冷卻方案，協助降低碳排

爲迴應淨零碳排政策與環保法規趨勢，Morikawa VOCs液化回收系統，榮獲日本產業技術大獎，回收率達99.9%，回收溶劑可再利用並降低碳排，亦成功導入AI伺服器雙相浸沒式冷卻方案，推動資料中心節能減碳。更於今年完成臺灣市場的技術展示，展現解決方案的實際效益。

Fractilia FAME 300：即時掌握隨機效應，推進High-NA EUV製程

FAME 300爲Fractilia最新量產級隨機性誤差解決方案，結合FAME OPC演算法，可即時分析CD變異與線邊粗糙等隨機性製程誤差，加速High-NA EUV導入與良率提升。資騰爲臺灣獨家代理，提供完整在地支援。

FlowVIEW液體即時監控平臺：打造微粒可視化管理，強化製程效率與回報

隨着高階製程對潔淨環境要求日益嚴格，微污染監控成爲影響良率的關鍵。資騰推出FlowVIEW結合即時液體監控系統，整合即時液體監控與 AI 影像辨識，快速掌握槽體與液體微粒變化，協助製程人員即時調整，提高良率並降低成本。

EcoDesign臭氧水設備：專利三重管設計，革新晶圓清洗技術

面對製程藥液減量與環保雙重挑戰，資騰導入具專利石英三重管設計與渦旋式臭氧溶解技術的EcoDesign臭氧水產生設備，可穩定產出高濃度、無金屬離子污染的臭氧水，革新RCA晶圓清洗製程。可顯著降低藥液用量，實踐低碳晶圓清洗，廣泛應用於矽基與碳化矽半導體制程。

聚焦智慧製造與淨零永續：資騰聯手技術夥伴亮相SEMICON Taiwan

除持續深耕既有代理市場，資騰亦展示多元場景整合應用，攜手自主開發iAMHS-AMR無塵室智慧搬運系統的友達數位、國內極少掌握金屬板電堆與混氫發電專利的氫豐綠能、擁有逾30年光通信模組與封裝設備與產品基礎的光陽光電等技術夥伴，持續聚焦先進製程。