中研院打造量子晶片研發與測試平臺 開放學研界使用

中研院在南部院區建置全新8吋晶圓製程研發與量子計算設施平臺，達成國內量子晶片研發的重要里程碑。（圖／中研院）

中央研究院今（10）日揭牌國內首座量子晶片製程研發平臺與量子計算測試平臺。（圖／中研院）

中央研究院今（10）日發表量子電腦晶片製程科學研發成果，不僅成功以8吋晶圓機臺製作高品質超導量子位元，也揭牌國內首座量子晶片製程研發平臺與量子計算測試平臺。這次所設置的兩項重要量子設施，也將開放全國學研界合作使用。

今日揭牌的「量子晶片製程研發平臺」，爲國內首座專爲製造超導量子晶片所建構的8吋製程平臺設施，具完善製程能力與即時檢測設備，可支援各類型超導量子位元製程的開發，以及高品質超導量子晶片與參數放大器研發。團隊也持續發展與建立三維堆疊製程技術，打造多量子位元晶片爲目標。

「量子計算測試平臺」則建置多套完整的低溫量測系統，配備高速、高精度的量測儀器與自動化控制，能快速最佳化量子邏輯閘操作，降低人力訓練成本。

中研院長廖俊智院長表示，發展量子科學必須同時投入高階製程研發人力，及尖端硬體設施。中研院希望藉由資源整合與平臺共享的效益，推動我國量子科技的發展，並吸引更多優秀人才投入量子關鍵領域的研究。

中研院關鍵議題研究中心助研究員柯忠廷表示，團隊已開發並測試多種晶片封裝與電磁屏蔽設計，能提供低雜訊、高精度的量測環境，有效提升量子晶片的性能與穩定度。未來也將開放具備可調耦合功能的5位元超導量子處理器，供上層軟體堆疊的研發使用。

中研院關鍵議題研究中心暨量子電腦專題中心執行長陳啓東提到，我國雖在半導體晶片製程獨步全球，但半導體晶片與量子晶片的製程及需求有顯著差異，突破製程穩定度與均勻性的技術關卡爲當前量子電腦面臨的關鍵挑戰。

陳啓東說，中研院團隊過去3年主導相關研究計劃，除了在傳統4吋機臺上成功驗證尖端超導量子位元製程，並達到國際水準以外，同時與工研院電光所及國研院半導體中心密切合作，進一步在自動化8吋機臺上，成功開發數種超導量子位元的新式製程。此次中研院在南部院區建置全新8吋晶圓製程研發與量子計算設施平臺，達成國內量子晶片研發的重要里程碑。