《科技》中研院量子晶片製程科學成果 揭牌2研發平臺

中研院關鍵議題研究中心之量子電腦專題中心執行長陳啓東特聘研究員說明，隨量子位元持續增加，量子晶片製程控制與均勻性要求日益嚴格。我國雖在半導體晶片製程獨步全球，但半導體晶片與量子晶片的製程及需求有顯著差異，突破製程穩定度與均勻性的技術關卡爲當前量子電腦面臨的關鍵挑戰。中研院團隊過去三年主導相關研究計劃，除了在傳統4吋機臺上成功驗證尖端超導量子位元製程，並達到國際水準以外，同時與工研院電光所及國研院半導體中心密切合作，進一步在自動化8吋機臺上，成功開發數種超導量子位元的新式製程。此次中研院在南部院區建置全新8吋晶圓製程研發與量子計算設施平臺，達成國內量子晶片研發的重要里程碑。

揭牌兩項研發平臺，其一「量子晶片製程研發平臺」(QC-Fab, Quantum Chip Fabrication Space)，爲國內首座專爲製造超導量子晶片所建構的8吋製程平臺設施，具完善製程能力與即時檢測設備，可支援各類型超導量子位元製程的開發，以及高品質超導量子晶片與參數放大器研發。團隊也持續發展與建立三維堆疊製程技術，以打造多量子位元晶片爲目標。

「量子計算測試平臺」(QC-Test, Quantum Computing Test Space)則建置多套完整的低溫量測系統，配備高速、高精度的量測儀器與自動化控制，能快速最佳化量子邏輯閘操作，降低人力訓練成本。關鍵議題研究中心助研究員柯忠廷表示，團隊已開發並測試多種晶片封裝與電磁屏蔽設計，能提供低雜訊、高精度的量測環境，有效提升量子晶片的性能與穩定度。未來也將開放具備可調耦合功能的5位元超導量子處理器，供上層軟體堆疊的研發使用。

現今全球先進國家都積極佈局量子科技，投入大量研發人力及資源以掌握最新技術。爲拓展「量子國家隊」的研發能量，本院、國研院、工研院及多所大學持續合作，以研發核心技術，帶領檯灣在量子科學時代發揮關鍵角色。關鍵議題研究中心李超煌主任表示，量子科技是本院關鍵研究領域之一，自2024年初本院發佈成功打造由臺灣自研自制的5位元超導量子電腦，並陸續驗證理論後，再爲量子設施揭牌，朝向基礎研究到實際應用的垂直整合。期望爲我國在量子電腦領域的創新與技術突破奠定堅實基礎，幫助臺灣於全球量子科技競賽中發揮關鍵角色。