中微公司2024年營收突破90億元，重研發大幅縮短設備開發週期

21世紀經濟報道記者 張賽男 上海報道

4月17日晚，中微公司（688012.SH）發佈2024年年度報告。報告顯示，公司全年實現營業收入約90.65億元，同比增長約44.73%；歸屬淨利潤16.16億元，同比下滑9.53%；扣除非經常性損益的淨利潤約13.88億元，同比增長約16.52%。

“這是公司營收首次突破90億元，”中微公司董事長尹志堯特別提到，這是在過去13年保持營業收入年均增長大於35%、近四年營業收入年均增長大於40%的基礎上，2024年營業收入又同比增長了約44.73%。

“其中，刻蝕設備收入約72.77億元，在最近四年收入年均增長超過50%的基礎上，2024年又同比增長約54.72%，公司的綜合競爭優勢繼續得到強化和提升，各項營運的KPI指標已媲美國際先進水平，甚至在按期交付和每臺缺陷等關鍵指標方面超過了國際領先半導體設備企業的水平。”尹志堯說。

刻蝕設備領跑市場

在中微90億元的營收構成中，刻蝕設備作爲核心業務表現尤爲亮眼，全年收入約72.77億元，同比增長約54.73%，近四年年均增速超50%。

目前，中微公司的CCP（Capacitively Coupled Plasma，電容耦合等離子體）高能等離子體刻蝕設備和ICP（Inductively Coupled Plasma，電感耦合等離子體）低能等離子體刻蝕設備已覆蓋國內95%以上的刻蝕應用需求，並在5納米及更先進製程的國際領先產線中實現規模量產。

此外，公司MOCVD設備銷售約3.79億元，同比下降約18.03%，LPCVD設備2024年實現首臺銷售，全年設備銷售約1.56億元。

對於全年淨利潤的下滑，中微公司解釋稱，是由於市場對中微開發多種新設備的需求急劇增長，2024年加大研發力度，以儘快補齊國產高端半導體設備短板。2024年公司研發投入約24.52億元，較上年增長11.90億元，同比增長約94.31%，2024年研發投入佔公司營業收入比例約爲27.05%，遠高於科創板均值。2024年研發費用14.18億元，較上年增長約6.01億元，同比增長約73.59%。

此外，2023年公司出售了持有的部分拓荊科技股份有限公司股票，產生稅後淨收益約4.06億元，而2024年公司並無該項股權處置收益。

不過，公司扣非淨利潤保持增長，這是由於在營收增長的基礎上，公司2024年毛利較上年增長約9.78億元。

重研發縮短設備開發週期

前述提到，中微公司2024年在研發投入上大幅增長，在此基礎上，公司設備開發週期大幅縮短。

尹志堯介紹，“目前公司在研項目涵蓋六大類，超過二十款新設備的開發。公司研發新產品的速度顯著加快，過去通常需要三到五年開發一款新設備，現在只需兩年或更短時間就能開發出有競爭力的新設備，並順利進入市場。”

據悉，中微公司正在開發更有競爭力的用於集成電路微觀製造的新一代的CCP高能等離子體刻蝕設備、新一代的ICP低能等離子體刻蝕設備，晶圓邊緣刻蝕設備，低壓熱化學沉積LPCVD及原子水平沉積ALD等薄膜設備、硅和鍺硅外延EPI設備，新一代等離子體源的PECVD設備和電子束量檢測等設備。

在泛半導體領域，中微的MOCVD（金屬有機化學氣相沉積）設備持續領跑全球市場，佔據氮化鎵基LED照明設備80%以上份額，並加速拓展碳化硅功率器件、Micro-LED等新興領域。

此外，中微公司在2023年底決定開發大平板設備，以儘快填補國內在這個領域的空白。其中包括新型顯示技術領域所需的核心薄膜及等離子體刻蝕等設備，並取得了比計劃超前很多的進展。

值得一提的是，中微公司積極謹慎佈局產業鏈上下游部分重點領域。據其披露，公司從上市以來投資了30多家產業鏈上下游企業，投資20多億元，實現了浮盈50多億元的良好經濟效益和戰略協同效果。其中，公司參股投資的8家公司已經完成A股掛牌上市。

當前，全球半導體產業正迎來新一輪發展機遇。人工智能、雲計算、自動駕駛等技術的普及，推動芯片製造向更先進製程演進，對刻蝕、薄膜沉積等核心設備的需求持續攀升。據SEMI預測，2025年全球半導體設備市場規模將達1,275億美元（+16%），中國大陸仍是最大市場，包括中微公司在內的國產半導體設備將迎來更多機遇。