張江研發、浙江製造,國產高端光刻膠樹脂產線建成
人民網上海7月22日電(馬作鵬)歷經多年研發,國產高端半導體光刻膠樹脂領域有了技術進展。7月21日,北京八億時空液晶材料有限公司在浙江上虞電子材料基地舉辦高端半導體光刻膠樹脂產線建成儀式,項目達產後預計營收規模超億元。
據介紹,八億時空不僅成功掌握了樹脂材料的關鍵製備工藝,更基於自主知識產權設計並建成了兩條高端半導體光刻膠樹脂高自動生產線。
光刻膠作爲芯片製造的“血液”,其性能高度依賴於核心組分——光刻膠樹脂。據行業數據顯示,光刻膠樹脂成本佔光刻膠總成本高達50%以上,其純度、金屬雜質控制等指標直接決定光刻膠的分辨率與良品率。
值得關注的是,八億時空在上海張江設立研發團隊,歷經多年探索後,在分子結構設計、合成工藝控制、純化技術等關鍵環節有了系統性進展,成功開發出滿足先進製程要求的光刻膠樹脂。
該企業相關負責人介紹,八億時空規劃兩條自主設計的產線落地浙江上虞,旨在以差異化定位覆蓋產業全生命週期需求。兩條產線均採用了先進自動化控制系統,顯著提升了生產效率和產品良率,降低了人工操作誤差,同時滿足高端材料生產對潔淨度和工藝穩定性的嚴苛要求。
據該企業董事長趙雷介紹:“高端半導體光刻膠樹脂雙產線的建成,是我們踐行科技創新、服務國家戰略的關鍵一步。未來我們還將依據市場需求繼續投入建設更大規模的產線。”