先進封裝夯 TSRI晶片級封裝降成本助攻學研、新創

國科會主委吳誠文探訪臺灣半導體研究中心臺南基地，對透過薄化晶圓等科技產品結合藝術的畫作印象深刻。圖／國科會提供

臺灣半導體中心今年計劃執行新建實驗場域，國科會主委吳誠文7日探訪臺南基地，透露異質整合先進封裝技術發展，臺積電驅動高速運算，TSRI補足擷取資料的感測器整合。

吳誠文年後密集到臺灣科技新創基地（TTA）等國科會轄下單位拜年，8日他在臉書分享前往臺灣半導體研究中心（TSRI）臺南基地探訪後想法。認爲，坐落於成大力行校區的臺南基地，2021年啓用後就近服務中南部學研教授及學生，也串接大南方S廊帶產學研創新能量。

TSRI目前三據點分別在新竹與臺南，其中，新竹基地聚焦新型元件材料開發，臺南基地則建置智慧感測異質整合技術服務平臺。

他提及，異質整合先進封裝技術，臺積電驅動高速運算，TSRI補足擷取資料的感測器整合。爲降低學研界及新創公司驗證成本，TSRI採用晶片級封裝技術，並使相關技術指標媲美量產級晶圓封裝技術。

吳誠文也介紹，該晶片級智慧感測技術服務平臺特色，包含晶片級微凸塊(microbump)、主被動元件的中介層及可整合運動、生化等感測器的CoCoB(Chip on Chip on Board)等技術。

另外，90年代引進的臺灣第一臺化學機械研磨（CMP）機臺，吳誠文表達「很驚訝」，因TSRI保養維護下，仍持續進行重分佈線層（RDL）和矽穿孔（TSV）等重要封裝製程工作，見證中心全面升級8吋設備前的貢獻。

TSRI也展示其他半導體技術，包括晶圓薄化到可以透光、晶創及臺美學研計劃成果的共乘晶片、2.5D氣體感測器及酒精測試展示、電源管理晶片應用系統及可於極低溫 4K 運作的量子電腦晶片等。

而讓其印象深刻的是，現場展示了一幅由TSRI創作的「科技」與「藝術」對話畫作，完美闡釋了人文與科技結合的火花。

他描述，畫作分成四個區域，各自以不同手法表現主題。中間窗型區塊以女性爲主角，挑戰傳統對電機電子領域的性別觀念。左側區塊描繪安平夕照，以銅箔電路板爲底，利用壓克力顏料和刮除技術展現光影效果。

右側區塊下半部是臺南市街道的銅板雕刻，呈現從太空俯視的視角，上半部分是夜空中從薄化晶圓透出紅光，象徵臺南廟宇紅燈籠。底板描繪鳳凰花，象徵創作地和作者的母校成功大學。