文天精策申請晶圓鍍膜前處理裝置及方法專利，達到對清理櫃的密封

金融界2025年5月30日消息，國家知識產權局信息顯示，文天精策儀器科技（蘇州）有限公司申請一項名爲“一種晶圓鍍膜前處理裝置及方法”的專利，公開號CN120072632A，申請日期爲2025年03月。

專利摘要顯示，本發明提供一種晶圓鍍膜前處理裝置及方法，涉及晶圓鍍膜技術領域，包括：操作檯，所述操作檯底部的四角均固定安裝有滾輪。本發明通過啓動電機，電機轉動帶動齒輪進行轉動，從而帶動齒條進行移動，通過齒條沿着滑條向頂部進行移動，並且通過限位杆進行限位，從而帶動清理櫃向頂部進行移動，將晶圓通過蓋板放入到操作檯的頂部，然後反轉電機，使清理櫃復位，從而達到對清理櫃的密封，啓動電推杆，使電推杆帶動斜杆向底部移動，從而通過連接杆使滑動盒沿着豎杆向底部移動，並且使毛刷輪與靜電輪與晶圓表面貼合，從而啓動馬達，馬達轉動帶動螺桿進行轉動從而使移動板通過移動輪在滑動盒的內部進行移動，從而帶動毛刷輪與靜電輪進行移動。

天眼查資料顯示，文天精策儀器科技（蘇州）有限公司，成立於2021年，位於蘇州市，是一家以從事儀器儀表製造業爲主的企業。企業註冊資本300萬人民幣。通過天眼查大數據分析，文天精策儀器科技（蘇州）有限公司參與招投標項目12次，財產線索方面有商標信息2條，專利信息15條，此外企業還擁有行政許可3個。

本文源自：金融界

作者：情報員