拓荊鍵科申請芯片鍵合裝置和方法專利,提高鍵合效率

金融界2025年2月22日消息,國家知識產權局信息顯示,拓荊鍵科(海寧)半導體設備有限公司申請一項名爲“一種芯片鍵合裝置和方法”的專利,公開號CN 119495604 A,申請日期爲2024年11月。

專利摘要顯示,本發明提供

了一種芯片鍵合裝置和

方法。該芯片鍵合裝置

包括:鍵合頭,用於吸附

待鍵合的芯片,並調節

其位姿;紅外視覺系統,

用於穿透該芯片,以採

集其背面的第一標記和

該芯片的目標鍵合位置

的第二標記的圖像;以

及控制器,被配置爲:經

由該紅外視覺系統,獲

取帶有該第

標記和該

第二標記的圖像;解析該圖像,以確定該第一標記和該第二標

記在該圖像中的位姿;根據該第一標記和該第二標記在該圖像

中的位姿差異,調節該鍵合頭的位姿,以使該芯片對準該目標

鍵合位置;以及經由該鍵合頭,將該芯片鍵合到該目標鍵合位

置。本發明能夠避免採用校準片作爲中間媒介在鍵合過程中帶

來的額外誤差,提高鍵合精度,簡化鍵合流程,從而提高鍵合效

率,提升設備產能。

天眼查資料顯示,拓荊鍵科(海寧)半導體設備有限公司,成立於2020年,位於嘉興市,是一家以從事科技推廣和應用服務業爲主的企業。企業註冊資本1067.5409萬人民幣,實繳資本812.7046萬人民幣。通過天眼查大數據分析,拓荊鍵科(海寧)半導體設備有限公司參與招投標項目7次,知識產權方面有商標信息7條,專利信息75條,此外企業還擁有行政許可5個。

本文源自:金融界

作者:情報員