潤華全芯申請光刻膠回吸裝置及方法專利，能夠控制光刻膠膠嘴內光刻膠位置

金融界2025年8月9日消息，國家知識產權局信息顯示，寧波潤華全芯微電子設備有限公司申請一項名爲“光刻膠回吸裝置、回吸方法”的專利，公開號CN120438236A，申請日期爲2025年05月。

專利摘要顯示，本發明申請涉及光刻膠回吸裝置、回吸方法，屬於半導體制造技術領域，光刻膠回吸方法包括：當光刻膠回吸裝置處於第一回吸工作方式時，回吸單元回吸光刻膠，圖像採集單元採集光刻膠膠嘴圖像併發送給控制單元，控制單元根據光刻膠膠嘴圖像計算光刻膠膠嘴內空氣柱高度，控制調整單元調整或不調整光刻膠膠嘴內光刻膠位置；當光刻膠回吸裝置處於第二回吸工作方式時，回吸單元回吸光刻膠，圖像採集單元採集光刻膠膠嘴圖像併發送給控制單元，控制單元根據光刻膠膠嘴圖像計算第一空氣柱高度、第二空氣柱高度，控制單元根據第一空氣柱高度、第二空氣柱高度，控制調整單元調整或不調整光刻膠膠嘴內光刻膠位置。

天眼查資料顯示，寧波潤華全芯微電子設備有限公司，成立於2016年，位於寧波市，是一家以從事專用設備製造業爲主的企業。企業註冊資本3584.0571萬人民幣。通過天眼查大數據分析，寧波潤華全芯微電子設備有限公司參與招投標項目139次，財產線索方面有商標信息10條，專利信息162條，此外企業還擁有行政許可20個。

本文源自：金融界

作者：情報員