合肥芯碁微電子裝備取得高效單機雙面曝光設備專利，實現待曝光件的高效單機雙面曝光

金融界2025年8月13日消息，國家知識產權局信息顯示，合肥芯碁微電子裝備股份有限公司取得一項名爲“高效單機雙面曝光設備”的專利，授權公告號CN223217782U，申請日期爲2024年10月。

專利摘要顯示，本實用新型公開了一種高效單機雙面曝光設備，包括基座、曝光組件、基板載臺和兩個翻板組件。曝光組件設在基座的上方。基板載臺設在基座和曝光組件之間，用於吸附待曝光件，基板載臺沿基座的長度方向可移動。兩個翻板組件均設在基板載臺和曝光組件之間，每個翻板組件包括吸盤件和連接杆，吸盤件與連接杆轉動連接，連接杆沿基座的寬度方向可移動。其中，兩個翻板組件的兩個吸盤件的轉動方向相反。

天眼查資料顯示，合肥芯碁微電子裝備股份有限公司，成立於2015年，位於合肥市，是一家以從事儀器儀表製造業爲主的企業。企業註冊資本13174.0716萬人民幣。通過天眼查大數據分析，合肥芯碁微電子裝備股份有限公司共對外投資了4家企業，參與招投標項目147次，財產線索方面有商標信息25條，專利信息369條，此外企業還擁有行政許可23個。

本文源自：金融界

作者：情報員