《電通股》蔚華首登SEMICON Taiwan 展出業界首創光學檢測技術

本次展出焦點是蔚華自有的SpiroxLTS技術，採非破壞性檢測方式，能即時監控TSV與TGV製程。SP8000S非破壞性TSV檢測系統，適用於量產階段的抽樣檢測，可精準辨識孔壁缺陷與孔底氧化物殘留，並支援小孔徑（如6μm孔徑、1:10高深寬比）的全片孔深均勻度（AWU）量測，協助AI、HBM等應用突破瓶頸、提升良率並降低成本。另一款SP8000G系統則針對TGV製程，能精確檢測玻璃基板內部的雷射改質層，完整揭示改質均勻度、結構品質與蝕刻後孔壁粗糙度，爲製程參數控制提供革命性突破。

同場也將展示與國家儀器（艾默生／NI）合作的功率半導體動態可靠度驗證技術。除持續代理STS測試系統外，雙方自今年一月起進一步引進德國實驗室的驗證技術至亞洲，併成立亞太首座功率半導體動態可靠度驗證實驗室，爲車用功率半導體客戶提供符合ECPE AQG324規範的先期驗證服務，加速產品研發與量產。

蔚華總經理楊燿州表示，這是公司首次在SEMICON TAIWAN全面展出專利技術與先進光學檢測設備，希望藉此深化與業界的合作交流。蔚華致力於以創新技術，爲客戶提供即時、精準、非破壞性的品質保障，並持續拓展SpiroxLTS的應用，協助客戶突破製程、良率與成本瓶頸，共同搶佔產業先機。