ASML申請夾具及其製造方法專利，通過將夾具的第一層和第二層加熱到至少700℃的保持溫度來結合所述第一層和第二層

金融界2025年7月9日消息，國家知識產權局信息顯示，ASML荷蘭有限公司申請一項名爲“夾具及其製造方法”的專利，公開號CN120283296A，申請日期爲2023年11月。

專利摘要顯示，一種方法包括：通過將夾具的第一層和第二層加熱到至少700℃的保持溫度來結合所述第一層和第二層；在保持時間期間期間將所述第一層和所述第二層維持在所述保持溫度；和在所述保持時間已經之後之後以最大20℃/小時的速率將所述第一層和所述第二層冷卻下來達冷卻時間週期。

本文源自：金融界

作者：情報員