源臺光學量測設備 創新研製2D X-Ray、2.5D影像與3D雷射量測系統 半導體製程利器

源臺精密秉持「臺灣第一、世界一流」的經營理念，應市場需求與高度發展，技術升級深耕在2D X-Ray、2.5D影像與3D雷射量測系統的創新研發，是臺灣唯一通過大行程影像量測儀與投影儀TAF認證之二級校正實驗室，也是臺灣中部唯一通過投影儀CNLA認證，且符合ISO/IEC17025之二級實驗室驗證，堪稱全球高階非接觸式影像量測儀器研製的指標性大廠。

源臺精密光學量測設備創新研製2D X-Ray、2.5D影像與3D雷射量測系統，堪稱半導體制程利器。 源臺精密/提供

快速、精確的製程，攸關半導體產業全球競爭力，源臺精密針對半導體制程應用，研製IMS-6272X X-Ray Inspection Measursing System X-Ray檢測量測系統設備，用於測量PCB壓合後板件漲縮及觀察板內錯位情況，可對位分析現象、歸納問題，協助找出製程問題進而改善製程。

該系統的光學檢測單元可輔助量測產品表面尺寸，角度與位置。搭配ARCS SI903專屬X-ray自動影像量測分析歸納軟件、易學易用，操作簡便，減少人爲誤差、提高製程效率，獲國際大廠指定採用。

值得一提，針對半導體產業針卡挑針製程，每次都需要做完整量測，需花費固定的時間，針卡挑針更需要有經驗的工作人員目視臆測針卡位置，調整完針卡後，要再做一次完整的量測作業，不僅費時、費工、成本高，而且進口機臺價格昂貴。

爲此，源臺精密供應全球半導體大廠tsmc，所研製的PIS-3030Z探針卡檢測維修系統，首創採用雷射進行探針卡的檢測，提供使用者快速、精確且全面的取得每一根針的針徑、針位、針高 (長)與整盤針的水平狀況，且能透過剖線圖模擬出針尖樣貌的變化，搭載立體顯微鏡（OM），可直接點選異常針進行維修工作。

PIS-3030Z探針卡檢測維修系統，強大的功能在40分鐘內能完成60*50mm範圍的針卡掃描及運算 (不管此範圍內的針數)，堪稱領先市場可檢測PIN height的設備，單機臺、雙功能，檢測速度快、快速掃描、調針，檢測完成立即調針，機臺精度<1μm精度高，提供半導體產業晶圓探針卡 (Probe Card)使用，可應不同探針卡種類客制，且不用改變現有半導體產業製程與習慣，可大幅簡化作業流程、節省成本，探針卡檢測、調針挑針一次到位，全自動化系統處理，PIN檢測包括：missing、broken、placement、offset、size、height等。

源臺精密電話（04）768-8067，

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