應用材料申請用於光學反射率測量的設備和方法專利,本公開內容涉及計量測量組件和相關方法
金融界2025年7月11日消息,國家知識產權局信息顯示,應用材料公司申請一項名爲“用於光學反射率測量的設備和方法”的專利,公開號CN120303547A,申請日期爲2023年10月。
專利摘要顯示,本公開內容涉及計量測量組件和相關方法。在一個或多個實施例中,激光臂組件包括激光臂。激光臂包括設置在激光臂的激光端與激光臂的第二端之間的馬達安裝件,所述馬達安裝件限定旋轉軸。激光臂組件還包括耦接到臂的激光端的光學單元。光學單元包括指向旋轉軸的光源。激光臂組件還包括設置在臂的第二端上的配重,和耦接到臂的馬達安裝件的馬達。馬達包括制動器、與旋轉軸同軸的激光馬達軸、和編碼器。
本文源自:金融界
作者:情報員
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