英特爾拿到的ASML高數值孔徑EUV已投入生產
《科創板日報》25日訊，英特爾週一表示，去年率業界之先接收的兩臺ASML高數值孔徑極紫外光EUV已投入生產。英特爾資深總工程師卡森表示，ASML這兩臺尖端機器已生產了3萬片晶圓。
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