影》臺積電美國廠罕見開箱片 「銀色高速公路」太震撼

臺積電美廠內部畫面曝光，內部設備令人驚豔。（圖：shutterstock／達志）

晶圓製造巨擘臺積電（TSMC）罕見地向外界揭露了其位於美國亞利桑那州的「Fab 21晶圓廠」的內部實況，其中最引人注目的莫過於被譽爲「銀色高速公路」的晶圓自動化物料搬運系統（AMHS），以及極紫外光（EUV）微影設備的詳細運作流程，其運作時所散發出的紫色電漿光芒，宛如一座持續發光的「小宇宙」。

臺積電美廠內部。（翻攝X ／Bourbon Capital）

臺積電美廠內部。（翻攝X ／Bourbon Capital）

根據資訊科技網站《Tom's Hardware》的報導，在公開的影片中，鏡頭穿梭於無塵室之間，爲了避免短波長光線對光阻劑造成不必要的影響，以確保製程的精準度，此處特別採用黃光照明。

隨後映入眼簾的是被稱作「銀色高速公路」的臺積電自動化物料搬運系統，數百個承載着300毫米晶圓的前開式晶圓傳輸盒（FOUPs）正忙碌地在高架軌道上自動運送，充分展現了在高產量製造（HVM）的環境下，維持生產週期所需的精準物流調度能力。

最令人歎爲觀止的，莫過於艾司摩爾（ASML）所製造的Twinscan NXE極紫外光（EUV）微影設備，這些機器是生產像是輝達Blackwell B300等頂尖晶片不可或缺的設備。影片採用了類似電影《奧本海默》的史詩風格，展示了EUV設備如何運用二氧化碳雷射轟擊錫液滴以產生電漿，進而將複雜的電路圖精準地印製在晶圓上，整個過程中不斷閃爍着耀眼的紫色電漿。

此外，這段影片也點明瞭EUV技術所面臨的挑戰，包含隨機效應（stochastic effects）、必須將精準度控制在奈米等級，以及無法使用傳統光學鏡片，而必須採用特殊反射鏡等問題。

目前，臺積電已在Fab 21一期廠爲包含蘋果、輝達、超微（AMD）在內的公司生產4奈米與5奈米制程的晶片，並且正積極建設Fab 21二期廠區，預計將具備量產3奈米和2奈米制程晶片的能力。

臺積電董事長魏哲家日前表示，公司正積極尋找第二塊大型土地，其目標是將亞利桑那州的廠區擴展爲單月產能超過10萬片的「超級晶圓廠羣」（Gigafab cluster），以充分滿足全球對於人工智慧（AI）和高效能運算客戶的龐大需求。