「臺積電美廠」內部畫面曝光！銀色高速公路超壯觀　EUV如小宇宙

▲臺積電位於亞利桑那州鳳凰城的晶圓廠。（圖／路透）

記者吳美依／綜合報導

臺積電（TSMC）罕見公佈美國亞利桑那州「Fab 21晶圓廠」內部畫面，包括被形容爲「銀色高速公路」（silver highway）的晶圓自動化物料搬運系統（AMHS），還有極紫外光（EUV）微影設備運作細節，宛如一個不斷閃耀着紫色電漿光芒的「小宇宙」。

資訊科技網站Tom's Hardware報導，影片中鏡頭飛越無塵室，這裡透過黃光照明，過濾短波長光線，避免對光阻劑造成不必要的曝光，確保製程精準度。

接下來登場的是「銀色高速公路」，也就是臺積電的自動化物料搬運系統，數百個裝載300毫米晶圓的前開式晶圓傳輸盒（FOUPs）在高架軌道上如火如荼地自動輸送，展現了高產量製造（HVM）環境下，維持生產週期的精準物流紀律。

I like how $TSM posted a video about its new Arizona Fab, where they explain how chips are made using EUV equipment from $ASML, and they even include small clips provided by $ASML."to be able to do this is incredibly difficult. We are using extreme ultraviolet technologies… pic.twitter.com/0iUqR13Z8J

最令人屏息的莫過於艾司摩爾（ASML）Twinscan NXE極紫外光（EUV）微影設備，這些機臺是生產輝達Blackwell B300等高階晶片的鎮館之寶。畫面以電影《奧本海默》風格的史詩感，呈現EUV如何利用二氧化碳雷射，轟擊錫液滴產生電漿，把複雜電路圖印到晶圓上，過程中不斷閃爍着紫色電漿。

此外，影片也點出了EUV的挑戰，包括隨機效應（stochastic effects）、必須將精準度控制在幾奈米之內，以及無法使用傳統光學鏡片，必須使用特殊反射鏡的難題。

臺積電目前已在Fab 21一期廠爲蘋果、輝達、超微（AMD）等公司生產4奈米與5奈米制程晶片，同時正在興建Fab 21二期廠區，將具備量產3奈米和2奈米制程能力。

董事長魏哲家透露，臺積電正積極尋求第2塊大型土地，目標是將亞利桑那州廠區擴大爲單月產能逾10萬片的「超級晶圓廠羣」（Gigafab cluster），以全面滿足全球AI和高效能運算客戶的強勁需求。