新凱來SEMICON China“C位出道”，半導體人氣王是何方神聖？

21世紀經濟報道記者 張賽男 實習生楊帆 上海報道

每年的SEMICON CHINA展會是半導體界的盛會，今年的SEMICON依舊吸引了全球半導體頂級行業領袖、國內外產業巨頭和新興企業。其中，首次公開亮相的深圳市新凱來技術有限公司是展會“人氣王”。

3月26日-28日，SEMICON CHINA 2015在上海新國際博覽中心進行。3月28日，21世紀經濟報道記者到訪當日，新凱來的展臺仍被圍得水泄不通。

走進新凱來的展臺，其C位聚焦着兩大核心板塊：左邊是半導體工藝裝備，包含了刻蝕、擴散以及薄膜產品；右邊則是量檢測設備，包含光學量檢測設備以及PX量測和功率檢測產品。

具體來看，新凱來本次展出了數十款自主研發的半導體設備，覆蓋半導體制造全流程。

在工藝裝備方面，新凱來展示了擴散裝備RTP（三清山）、EPI（峨眉山）；刻蝕產品ETCH（武夷山）；薄膜產品PVD（普陀山）、CVD（長白山(603099)）、ALD（阿里山）。

在量檢測裝備方面，展示了光學檢測產品嶽麓山BFI、丹霞山DFI、蓬萊山PC、莫干山MBI；光學量測產品天門山IBO、天門山DBO；PX量測產品沂蒙山AFM、赤壁山-XP XPS、赤壁山-XD XRD、赤壁山-XF XRF；功率檢測產品RATE-CP、RATE-KGD、RATE-FT。

21世紀經濟報道記者觀察到，每塊展板的下面都展示着部分半導體設備的1：15的模型，比如赤壁山-XP、嶽麓山、三清山1號等，這些設備模型可以幫助觀衆更加直觀地瞭解此類半導體設備。

在展臺外圍，大屏幕上循環播放着新凱來的介紹宣傳片，從研發面對的挑戰等進行了詳細介紹。現場觀衆也十分關注新凱來的表現，在展會場地上圍成弧形觀看、拍攝，火爆程度一度使展會部分交通“癱瘓”。

在衆多設備產品中，刻蝕及薄膜產品最受歡迎。而這兩大展臺的持續火熱，恰恰折射出半導體制造的痛點：刻蝕精度決定芯片性能天花板，薄膜質量影響芯片的性能、可靠性和成本。

新凱來究竟是何方神聖？

據其官網介紹，公司致力於半導體裝備及零部件、電子製造設備的研發、製造、銷售與服務。公司核心團隊具備20年以上電子設備技術開發經驗，並聯合了衆多國內半導體制造設備和零部件合作伙伴，爲國內半導體設備廠、FAB廠、電子電器設備廠、研究機構提供先進的解決方案，相關產品廣泛應用於國內頂級製造企業和研究、測試機構。

企查查數據顯示，新凱來成立於2021年8月，註冊資本15億元，由深圳市深芯恆科技投資有限公司100%持股，股權穿透後，由深圳市國資委全資控股。

SEMICON China 2025 IC產業鏈國際論壇上，新凱來工業機器有限公司工藝裝備產品線總裁杜立軍介紹，AI、智能駕駛等產業對算力需求及增長，推動半導體裝備市場穩步增長。裝備新技術演進方向是更高能量控制精度、更快硬件響應速度、更大工藝窗口，以射頻/等離子體場爲例，預計從7納米到3納米的演進過程中，會有10倍的能量控制精度提升，時延從10毫秒縮短到1毫秒的硬件響應速度提升。

目前新凱來基於一代工藝、一代材料、一代裝備的設計理念，已經開發了刻蝕產品、擴散產品、薄膜產品以及物理量測產品、X射線量測產品、光學量檢測產品6大類工藝和量檢測裝備，覆蓋先進邏輯和存儲，支持向更先進節點演進。