無錫卓海取得多探針集成系統及四探針電阻測量儀專利，可實現多樣化對晶圓的測量

金融界2024年12月7日消息，國家知識產權局信息顯示，無錫卓海科技股份有限公司取得一項名爲“多探針集成系統及四探針電阻測量儀”的專利，授權公告號 CN 222105549 U，申請日期爲2024年3月。

專利摘要顯示，本實用新型涉及晶圓檢測技術領域，公開了一種多探針集成系統及四探針電阻測量儀，多探針集成系統包括固定支架、機械臂、探針支架和探針，探針支架上設置有多個探針安裝位，多個探針安裝位設置在以探針支架的中心爲圓心的同一圓周上，且沿周向均勻佈置，探針支架選擇性安裝一個或多個探針，不但可以實現多探針的需求，還可定製化以實現多功能的集成，同時保持多探針集成系統的平衡，延長使用壽命；機械臂的一端與固定支架連接，另一端與探針支架可轉動地連接，每次轉動探針支架後，能保持至少一個探針安裝位垂直於晶圓，方便切換不同探針，實現多樣化對晶圓的測量，結構簡單，更方便工作人員對晶圓的全方面檢測。

本文源自：金融界

作者：情報員