無錫尚積半導體申請PVD設備中的線性調節方法專利，實現線性精準調節薄膜參數和性質

金融界2025年6月20日消息，國家知識產權局信息顯示，無錫尚積半導體科技股份有限公司申請一項名爲“PVD設備中的線性調節方法”的專利，公開號CN120174317A，申請日期爲2025年03月。

專利摘要顯示，本發明提出了一種PVD設備中的線性調節方法，包括：設定靶面濺射電壓，電壓設定值被輸送給可編程控制器，打開控制閥；可編程控制器獲取實際靶面濺射電壓，經過計算得到輸出數據；可編程控制器根據輸出值計算得到氣體流量控制參數，並將其同步傳送給控制閥；調節控制閥改變氣體流量，實際靶面濺射電壓向設定濺射電壓逐步逼近，最終實際濺射電壓值等於濺射電壓設定值。本發明採用控制靶面濺射電壓至預設值的方式，替代對磁控濺射設備實現工藝目標過程中重要的調節參數——即濺射氣體/反應氣體流量的直接控制，可以實現濺射電壓寬範圍內的線性調節過程，薄膜參數的可調範圍被明顯放大，調節精細度高，從而實現線性精準調節薄膜參數和性質。

天眼查資料顯示，無錫尚積半導體科技股份有限公司，成立於2021年，位於無錫市，是一家以從事專用設備製造業爲主的企業。企業註冊資本2095.4838萬人民幣。通過天眼查大數據分析，無錫尚積半導體科技股份有限公司共對外投資了3家企業，參與招投標項目20次，財產線索方面有商標信息7條，專利信息126條，此外企業還擁有行政許可15個。

本文源自：金融界

作者：情報員