VAT控股申請用於MEMS器件的氣體類型補償專利，基於聯合處理導出壓力和/或分子參數的至少一個值

金融界2025年6月21日消息，國家知識產權局信息顯示，VAT控股公司申請一項名爲“用於MEMS器件的氣體類型補償”的專利，公開號CN120188014A，申請日期爲2022年10月。

專利摘要顯示，用於計量系統(1)的控制和處理單元(40)，計量系統(1)包括至少第一傳感器(10)，第一傳感器(10)包括膜(12)、膜(12)的懸架(13)、底部晶片(21)以及形成在膜(12)與底部晶片(21)的至少一部分之間的腔體(30)。計量系統(1)包括振盪發生器單元(28)，振盪發生器單元被配置爲使至少膜(12)產生振盪。控制和處理單元(40)被配置爲在第一振盪模式和第二振盪模式中驅動振盪發生器單元(28)，在應用第一振盪模式期間測量第一阻尼響應，在應用第二振盪模式期間測量第二阻尼響應，聯合處理第一阻尼響應和第二阻尼響應，並且基於聯合處理導出壓力和/或分子參數的至少一個值。

本文源自：金融界

作者：情報員