拓荊科技申請片間腔體顆粒改善方法及計算機可讀存儲介質專利，改善腔體顆粒

金融界2025年8月23日消息，國家知識產權局信息顯示，拓荊科技（上海）有限公司申請一項名爲“片間腔體顆粒改善方法及計算機可讀存儲介質”的專利，公開號CN120519823A，申請日期爲2024年12月。

專利摘要顯示，本發明公開了片間腔體顆粒改善方法及計算機可讀存儲介質。所述片間腔體顆粒改善方法包括：晶圓完成一次薄膜沉積並被移出反應腔室之後到下一次所述晶圓進入所述反應腔室進行下一次薄膜沉積之前進行一次片間處理，所述片間處理用於改善腔體顆粒；重複上述步驟，直至薄膜沉積後的膜厚達到一預設值後，進行清潔處理，其中，所述預設值比未進行所述片間處理時的累積膜厚值大。

天眼查資料顯示，拓荊科技（上海）有限公司，成立於2020年，位於上海市，是一家以從事零售業爲主的企業。企業註冊資本143253.79萬人民幣。通過天眼查大數據分析，拓荊科技（上海）有限公司參與招投標項目22次，財產線索方面有商標信息1條，專利信息293條，此外企業還擁有行政許可29個。

本文源自：金融界

作者：情報員