臺積電中科零廢製造中心 整合四大回收鏈

臺積電以「資源循環零廢棄」爲主軸，爲循環經濟建立行業標竿。圖／本報資料照片

臺中零廢製造中心四大回收處理機制

循環經濟已被視爲重要國家產業發展策略，臺積電以「資源循環零廢棄」爲主軸，爲循環經濟建立行業標竿；其中，於去年11月商轉的臺中零廢製造中心，爲臺灣第一座的整合型能資源循環場域，及第一個導入「薄膜碳捕捉技術」示範場域，確保園區廢棄資源不外流，所純化而成的電子級與工業級化學品，可重回臺積電製程與其他產業使用，開創嶄新的循環經濟模式。

臺積電回收處理流程縝密，據其《113年度永續報告書》指出，零廢製造中心年度處理約9,400公噸廢棄物，創造約新臺幣8,000萬元效益；並與環境部合作薄膜碳捕捉示範，預估每年可減少委外處理量13萬公噸。

源頭減量，是臺積電落實廢棄物產出最小化的關鍵因素。其中，以半導體制程的晶圓清洗作業中被廣泛使用的硫酸爲例，硫酸是製程廢液來源之一，藉成功開發溼蝕刻機臺排酸模式調整的綠色創新方案，臺積電進一步將此手法水平展開，在不影響原有製程品質的前提下，於去年成功減少約3,400公噸的硫酸廢液產出。

臺積電也攜手協力夥伴，共同推動循環經濟軟硬實力。如進駐零廢製造中心的廠商之一，長春石化，與臺積電攜手探索異丙醇純化技術。另像是回收氟化鈣污泥，則由立盈進行負責，將污泥轉化可銷往鋼鐵業的人工螢石。

最大目標是將半導體制程產生之化學品朝「閉環」生態系推進。臺積電評估，TMAH廢液經純化與電解再生成電子級溶液，在多座12吋廠導入，全年減少新液採購約1,100公噸，估減碳6,600公斤。

去年，臺積電的全球廢棄物回收率已達97％，臺灣廠區掩埋率連續15年低於1％。臺積電採取「源頭減量、循環經濟、稽覈輔導」三大策略，致力成爲全球永續標竿企業，應用創新技術驅動資源循環等綠色製造實績。