臺積電攜工研院將EUV製程餘氫再利用 開發混氫燃料電池

臺積電（2330）今日更新ESG電子報，提到公司將EUV餘氫再利用，轉型綠色能源與工研院合作研發「混氫燃料電池」，發電效率達52.3%。

臺積電在ESG電子報提到，攜手工研院綠能系統與環境科技所推動「極紫外光（Extreme Ultraviolet, EUV）製程餘氫資源化計劃」，創新研發30瓩混氫燃料電池發電系統，在50%濃度氫氣、每分鐘320公升的流量條件下，成功將餘氫轉換爲電能，發電效率達到52.3%，並領先全球取得半導體制造設備安全衛生及環保基準（SEMI S2）認證。

臺積電在ESG電子報提到，今年進一步以150瓩進行混氫燃料電池開發設計，目標將EUV製程的餘氫100%轉化爲電力，促進更環保的生產管理。

此外臺積電在ESG電子報提到，爲強化南京廠自主檢測能力，臺積電在南京廠成立海外廠區第1個廠務環境實驗室，並於2025年3月完成中國合格評定國家認可委員會年度驗證，已具備27種排放指標檢測技術，優於當地環保法規要求的24種。

臺積電在ESG2電子報表示，南京廠並建立129支排氣風管的參數資料庫，完成5支超出內控排量的煙道改善，空污排放量相較於實驗室建置前降低61%，水污綜合指標削減率提升19%。