臺積電綠色製造突破 回收系統推進一滴硫酸都不外運

臺積電31日更新ESG電子報提到，積極建構綠色循環體系，繼首創廢硫酸回收系統1.0版並達成工業級硫酸零外購後，爲克服多年運轉產生的設備腐蝕及反應槽內襯材剝離問題，進一步研發新型催化劑並導入耐高溫、耐腐蝕的搪玻璃反應器，全面升級爲「廢硫酸回收系統2.0版」，臺積公司以「一滴硫酸都不外運」爲目標，除升級廠內廢硫酸回收系統外，亦規畫透過零廢製造中心，將廢硫酸轉製成高附加價值的衍生產品，應用於工業原料及建築材料等領域，減少廢棄資源對環境的影響，同時體現臺積公司對循環經濟及永續發展的承諾，開創零廢製造的新里程碑。

依據說明，臺積電民國113年於晶圓十五B廠設置並完成1年實際運轉驗證，效能顯著提升：新型催化劑對不鏽鋼設備腐蝕率降低98%，催化劑用量減少99%，化學反應時間縮短80%以上；搪玻璃反應器則有效防止內襯材剝離，增強設備耐用性。民國114年，廢硫酸回收系統2.0版已列入新建廠區標準設計，深化物料再生價值。

突破技術挑戰，回收系統再進化

硫酸是半導體制程中的重要化學品，臺積公司致力實踐資源循環再利用，民國103年開發廢硫酸回收系統1.0版，實現廢硫酸再生爲工業級硫酸並回用於廠內廢水處理系統。爲解決系統長期運行帶來的技術挑戰，臺積公司深入研究回收系統內的化學反應機制，開發新型催化劑取代鹽酸做爲催化劑原料，結合實驗設計與多層次測試，研發出低腐蝕性的新型催化劑，不僅降低設備耗損風險，更因催化效果提升而減少使用量，加速化學反應過程；此外，透過引入搪玻璃反應器技術，利用高溫燒結形成的搪玻璃層覆蓋於槽體內部，取代傳統以黏合劑固定內襯材料的設計，有效克服黏合劑在高溫環境下失效所導致的內襯剝離現象，強化設備耐用度及穩定運行。