臺積電改良無塵室空調設計　風機效能突破60%

▲臺積電。（圖／記者高兆麟攝）

記者高兆麟／臺北報導

臺積電（2330）針對無塵室內輸送空氣的風機過濾組（Fan Filter Unit, FFU），攜手供應商在不改變尺寸及運轉需求的前提下，成功優化風機結構，將運轉效率由55%提升至60%以上，經實測單一廠區平均年省156萬度電、減少805公噸二氧化碳當量；民國114年9月，該技術已導入晶圓二十廠第1期與第2期廠區、晶圓二十二廠第1期與第2期廠區、先進封測七廠第1期廠區，共計約4萬4,000臺，持續實踐綠色創新。

晶圓廠房內的無塵室需保持極高的空氣潔淨度，風機過濾組能有效過濾空氣中的微小顆粒，維護製程環境品質。爲精進運轉效能，臺積電優化風機過濾組的設計，將直流無刷馬達的結構由內轉式改爲外轉式，以增強轉軸的力矩，確保風機運作所需的高扭矩性能；同時，將扇葉直徑從400公釐延伸至448公釐，增加出風截面積，強化氣流的穩定性。此外，結合渦殼風道流場模擬，有效減少擾流、提高出風量，進一步提升空氣循環效率並降低能耗。

臺積電持續擴大節能範疇，除改善風機輸送效能外，亦評估膜板加溼器及空氣濾網的設計與材質改進方案，以測試其節能減碳的可行性；透過確保製程穩定的同時，全面提升空調系統的能源使用效率，實現綠色製造的永續目標。