上暘光學申請雙鏡頭檢測裝置專利，達到小體積高精度檢測

金融界2025年1月17日消息，國家知識產權局信息顯示，上暘光學股份有限公司申請一項名爲“雙鏡頭檢測裝置”的專利，公開號CN 119310099 A，申請日期爲2023年7月。

專利摘要顯示，一種雙鏡頭檢測裝置，用來檢視晶圓加工質量；包括：一低倍鏡頭組，具有多個透鏡以滿足3.0≥放大率≥1.0的條件值；一高倍鏡頭組，具有多個透鏡以滿足25.0≥放大率≥15.0的條件值；一光源模塊對低倍鏡頭組與高倍鏡頭組投射照明光源；一分光元件，位於照明光源的光路上以產生通過低倍鏡頭組與高倍鏡頭組的第一光路及第二光路，並使其投射在位於同一平面的物件上；一第一/第二通光模塊，以控制第一光路與第二光路的進光量並實現其暗場照明；一相機則通過分光元件使該第一光路與第二光路達到轉折，進而使相機攝取物件的影像；以此，低倍鏡頭組將對物件的檢測點做標記，再移動本裝置使高倍鏡頭組對物件的檢測點進行精確檢視，以達到小體積高精度的檢測。

本文源自：金融界

作者：情報員