上海積塔半導體取得用於離子注入機靶盤掃描手臂測漏桶及掃描手臂專利，減少不必要的整體更換

金融界2025年8月9日消息，國家知識產權局信息顯示，上海積塔半導體有限公司取得一項名爲“一種用於離子注入機靶盤掃描手臂的測漏桶及掃描手臂”的專利，授權公告號CN223205069U，申請日期爲2024年10月。

專利摘要顯示，本實用新型提供了一種用於離子注入機靶盤掃描手臂的測漏桶及掃描手臂，旨在解決現有技術中無法對掃描手臂進行有效測漏的難題；該治具包括測漏桶、固定蓋、密封蓋，能夠針對掃描手臂的各個關節進行獨立檢測；固定蓋安裝於被測關節處，通過密封圈實現高效密封，測漏桶與固定蓋的另一端連接，並通過密封蓋完成密封結構的閉合；通過該治具配合外部檢漏機，可以快速檢測出掃描手臂的真空泄漏點，從而減少不必要的整體更換，降低維護成本，提高設備運行的效率與可靠性；本實用新型結構簡單、測試性能可靠，適用於離子注入機的高真空環境下的掃描手臂測漏操作。

天眼查資料顯示，上海積塔半導體有限公司，成立於2017年，位於上海市，是一家以從事計算機、通信和其他電子設備製造業爲主的企業。企業註冊資本1690740.3918萬人民幣。通過天眼查大數據分析，上海積塔半導體有限公司參與招投標項目1848次，財產線索方面有商標信息9條，專利信息1226條，此外企業還擁有行政許可193個。

本文源自：金融界

作者：情報員