聯手產業界一起攻堅

工研院「MMG手勢辨識技術」。（工研院提供）

韓國三星總部。（新華社）

清華大學講座教授史欽泰。（工研院提供）

十里天下：史欽泰和他的開創時代（天下文化）

要做記憶體，就要發展次微米技術，當時臺灣的半導體公司已有許多家：臺積電、聯電、華邦，及施振榮投資的德碁；剛開始大家希望用參與的方式，也有聲音反對工研院再衍生新公司。史欽泰說：我們就建議仿美國的SEMATECH（Semiconductor Manufacturing Technology，半導體制造技術聯盟），做聯合研究中心。SEMATECH是在美國雷根政府時期，因爲看到日本的競爭力很厲害，一九八四年由國家支持的民間聯合研究機構，五○％經費由政府支持，IBM、英特爾、AT&T幾個大企業都參與。SEMATECH第一任董事長即是英特爾的創辦人之一，也有一任是比爾．斯賓塞（Bill Spencer），他後來做了我國行政院的科技顧問。所以我們想仿傚這個模式，由企業合資、政府各出一半。

次微米計劃以向政府提案爲主，由電子所親自參與，有技術的優先權，但是，設有會員（member）制，正會員主要是聯電、臺積電，以及副會員（associate member），如旺宏電子，透過每年成果發表，分享技術成果。此外，也成立諮詢委員會，由張忠謀當主席，史欽泰做執行長，由會員廠商來擔任委員。

史欽泰談到，當時次微米實驗室直接就蓋在科學園區，因爲已經可以預見將來一定要移轉到民間去，他說：

我的提案就是不以衍生爲目標，但不排斥。做法可以有三個：衍生、產業界共同支撐，或由任一家企業買走。

但是，無論未來是採哪一個方案，我認爲，實驗室都要設在園區，可以和產業界有最好的互動。因此，我們就需要先把未來的財產先處理好。

當時新竹科學園區規定只有企業才能進駐，工研院是研發機構，資格不符，不能申請。史欽泰着眼次微米實驗室的未來，不放棄設在科學園區的構想，開始展開「磨工」：

我每天打電話給園區管理局薛香川局長，一再說服他，他拗不過我，終於同意。所以次微米實驗室一開始就在科學園區興建，最後，衍生成立的世界先進（Vanguard International Semiconductor Corporation, VIS）公司也就自然位在園區裡了。

次微米計劃執行過程，困難重重，誰來做？在哪裡做？因爲電子所的人才都散了，必須重新建立團隊。史欽泰順利找到在美國貝爾實驗室擔任計劃主持人的盧志遠，及在IBM的盧超羣（垂直槽溝式DRAM架構發明人），同行回國的還有丁達剛、趙瑚等頂尖DRAM設計專家，可以說是當年的一時之選。電子所由盧志遠（時任副所長）領軍，專攻製程，DRAM設計由盧超羣成立鈺創科技，以計劃合作的方式進行技術開發。他說：

次微米計劃以盧志遠爲首，盧超羣則想自己創業，不想加入工研院，後來，我們就談工研院外包給他們做的條件。他找了三個人一起回來創業。

「爲國家做事」的心，使他們決定放棄美國安穩、高薪的工作，回來一起闖一闖。丁達剛記憶猶新：「盧志遠來找我，我說：不可能！他邀請我到他家看一支臺灣經濟發展的記錄片，看着臺灣從農村逐步發展的畫面，我不禁流下了思鄉淚。離去前，我丟下一句話：『你弟弟回去，我就回去。』」幾個月後，盧超羣來找丁達剛，告訴他決定回臺灣，再一次邀請回國。這一次，丁達剛毅然放下貝爾實驗室的工作，帶着剛出生未久的女兒，回到臺灣，加入鈺創。

從一九八八年開始，經過十多個月評估和研擬，一九九○年七月，次微米計劃正式啓動，將開發DRAM設計與製程技術，並興建臺灣第一座八吋晶圓廠；這個計劃創下許多傲人的成績：

零微震結構體，空氣比開刀房乾淨一千倍！這個實現次微米夢想的基地經歷十五個月建廠完工啓用；歷時卅天即製造成功的國內第一片256K SRAM（static random access memory，靜態隨機存取記憶體）八吋晶圓，良率高達七○％，次批晶圓良率達八○％；三個月內建立○．五微米的16MB DRAM及4MB SRAM八吋晶圓；四年內開發完成二．五世代次微米制程技術，緊追世界水準……

次微米制程技術發展計劃成功締造臺灣自主研發八吋晶圓技術的關鍵里程碑，培養出三百多位本土DRAM研發人才，團隊竭盡心力克服諸多挑戰，最後以四年半時間提早完成計劃，成功爲臺灣開發出第一片八吋晶圓、○．五微米DRAM製程自主技術，經費不僅沒有透支，還史無前例將五億元經費「還」給政府。這羣強將，讓臺灣從零開始，躋身具八吋晶圓廠能力的五大積體電路國家行列！

這項技術成果的出路，由經濟部透過公開招標進行技術轉移，成立衍生公司，最終由臺積電率領十三家公司集資、以六十七億元（稍高於政府次微米科專計劃的總投資）得標；於一九九四年十二月廿三日，次微米計劃衍生出資本額一百四十億元的「世界先進積體電路公司」。

次微米計劃的成功，也間接帶動業界投資，南亞、力晶、茂德等臺灣DRAM製造廠紛紛創立。（三之二，摘自天下文化《十里天下：史欽泰和他的開創時代》；更多精彩內容請免費下載《翻爆》APP）