《科技》ASM雙技術助攻 搶先進製程商機

隨着AI與高效運算(HPC)等應用需求攀升,全球半導體業規模預計將在2030年突破1兆美元,晶片架構加速邁向垂直3D化。ASM技術副總裁Glen Wilk指出,3D結構對沉積製程的精準度與厚度控制要求更高,使ALD與磊晶技術成爲影響晶片性能與可靠性的關鍵。

在鰭式場效電晶體(FinFET)漸趨極限之際,環繞閘極(GAA)與互補式場效電晶體(CFET)成爲邏輯製程下一代主流架構。ASM的ALD與磊晶技術可在複雜3D結構中提供原子級的高精準度、高均勻性與高階梯覆蓋率的材料沉積,支援高密度、低功耗的電晶體設計。

Glen Wilk提出,選擇性沉積(Area Selective Deposition)技術能有效解決先進製程中的挑戰,僅在指定位置沉積材料,有助提升製程良率、元件可靠性與整體效能,適用於2奈米及以下製程與異質整合、混合鍵合等先進封裝應用。

Glen Wilk強調,磊晶技術爲GAA元件核心,在先進邏輯製程中的角色愈加關鍵。在FinFET時代,電晶體內電子流通的通道厚度由微影與蝕刻決定,GAA時代則透過原子級精準度的磊晶製程技術生成,ASM的ALD與磊晶技術將是GAA與CFET技術持續突破的關鍵。

ASM將於SEMICON Taiwan 2025的AI半導體技術概念區設立互動專屬攤位,除由專業團隊介紹品牌理念、關鍵技術與就業機會外,更設計主題遊戲「原子層沉積大師」(Master of Atomic Layering),深入認識ASM的ALD技術如何推動先進製程演進。

ASM臺灣總經理呂秉澄表示,ASM在臺深耕即將邁入20年,團隊規模過去5年來成長超過三倍。臺灣不僅是ASM創新技術的重要前線,更是銷售與在地服務的核心樞紐,持續支援臺灣半導體從2奈米制程邁向埃米級技術節點的關鍵發展。

呂秉澄指出,自2025年初至2026年底,ASM預計將新增超過100個職缺,並預期至2028年前員工數雙位數成長,持續擴大在臺投資,創造更多本地就業機會,誠摯邀請更多優秀人才加入ASM,一同推動全球先進晶片製造邁向新世代。

ASM建立包括海外受訓、外派及跨國輪調等多元培育機制,目前已有逾5成臺灣工程師完成海外訓練,約32%參與美國、韓國、日本等地的國際專案支援,並有近10%正式外派美國及日本,展現臺灣技術人才在ASM全球業務拓展中的關鍵角色與影響力。