晶圓傳送機械 助力半導體業

工研院開發嵌入式晶圓傳送機器人，提升半導體制程效率。工研院／提供

臺灣作爲全球半導體產業最重要的製造基地，擁有完整的上下游供應鏈、豐富的技術資源和產業經驗。而晶片在生產製程中，晶圓傳送機器人負責在無塵室環境中精確地搬運和處理晶圓，確保製程的高效和穩定。因此，晶圓傳送機器人可謂半導體制造過程中的關鍵設備。

工研院開發嵌入式晶圓傳送機器人，提升半導體制程效率。工研院／提供

經濟部產業技術司補助工研院開發「嵌入式傳送機器人（晶圓傳送機器人）」，具備高速、低振控制技術，可有效降低搬運晶圓時的振動與誤差，確保晶圓在傳送過程中不受損傷。該機器人有別於傳統晶圓傳送機器人採手臂與電控箱分離的設計，採用本體與電控箱合一架構，對於寸土寸金的高科技半導體廠房而言，無疑是一大優勢，能有效提升設備空間利用率並確保產線空間最大化。

工研院開發嵌入式晶圓傳送機器人，提升半導體制程效率。工研院／提供

目前除臺積電（2330）、聯電外，臺灣還有日月光、力成等多家在全球具影響力的半導體相關企業，隨着製程技術不斷升級，對晶圓傳送機器人的需求亦日益提升。國內已有如上銀、三和技研等廠商投入開發並取得初步成果，惟相較國際大廠，在技術實力與品牌知名度上仍有成長空間。

晶圓傳送機器人爲半導體制程中的關鍵設備，對提升製程效率與穩定性具關鍵意義。臺灣在該領域已具備良好技術基礎與產業需求，未來若能透過技術創新、產業合作、智慧化發展、市場拓展與人才培育，將有望在晶圓傳送機器人技術上取得重大突破，進一步強化我國半導體產業競爭力，爲全球供應鏈貢獻更多價值。（作者是工研院機械所專案經理）