《國際產業》艾司摩爾High-NA太貴 臺積電稱「找不到非用不可理由」

艾司摩爾同時也正在評估，這個價值近4億美元機器的速度和準確性優勢，何時可以戰勝它驚人、幾乎翻倍的成本售價。

在被問到：公司是否計劃把該機器使用於即將推出的A14製程及未來的增強版時，臺積電資深副總裁張曉強表示，公司還沒找到非用不可的理由來採用它。

他在新聞會上說：「我所說的A14增強版，在沒有使用High-NA的情形下，效果已經非常顯著。因此我們的團隊正在尋找一種方法，透過微縮優勢來延長現有低數值孔徑(Low-NA)EUV的使用壽命」。

他說，只要公司團隊繼續尋找方法，公司就不會使用High-NA。

競爭對手英特爾計劃在未來的製程(即14A)中使用High-NA的EUV，試圖重振晶圓代工業務，並更好地與臺積電競爭。

不過英特爾也表示，客戶也可以選擇使用較舊的、較成熟的技術。

艾司摩爾執行長Christophe Fouquet曾在上一次財報會議上說，預計客戶在2026-2027年期間，會先測試High-NA的大量量產準備情形，然後在該期間末期評估使用該設備。

張曉強曾在去年表示，臺積電在A16製程將不會使用High-NA，他說，他不喜歡這個價格。