《電機股》資騰引進Morikawa VOC液化回收系統 切入半導體、資料中心

資騰總經理陳國榮表示，半導體與資料中心同時面臨『高耗能、高排放與高成本』三重挑戰，而Morikawa的壓縮深冷凝縮技術，能將製程尾氣中的有機溶劑回收並液化，回收效率高達99.9％，爲產業提供極具投資回報率的永續方案。資騰不只是代理設備，更負責協助客戶完成從評估、導入、整合到維運的全流程，確保這項技術真正落地並創造效益。

Morikawa VOC液化回收系統以壓縮深冷凝縮方式爲核心，透過精密溫控、真空環境與模組化冷凝槽設計，有效回收各類揮發性有機氣體，回收液體具備高純度與穩定性，無需再加工即可重複投入製程或清洗流程，不僅降低原物料耗損與處理成本，更大幅提升碳減排與資源循環效益。

該系統已廣泛應用於先進晶圓製程排氣控制，並與資騰合作擴展至AI伺服器雙相浸沒式冷卻方案應用。透過氣化到冷凝的循環機制，不僅可回收逸散冷媒與有機氣體，延長冷卻液壽命，亦能強化系統穩定性、提升安全性，進一步降低整體碳足跡與營運成本。實際導入效益顯著，包含年度溶劑採購成本可降低50％至90％，視不同製程條件，每條生產線每年可減碳數十噸二氧化碳當量VOC排放，符合多國環保法規與標準。