安徽熙泰智能科技取得原子層沉積設備的尾氣管道專利，能大幅降低尾氣迴流造成的腔室污染

金融界2025年2月11日消息，國家知識產權局信息顯示，安徽熙泰智能科技有限公司取得一項名爲“原子層沉積設備的尾氣管道”的專利，授權公告號CN 222427547 U，申請日期爲2024年5月。

專利摘要顯示，本實用新型公開了一種原子層沉積設備的尾氣管道，包括與反應腔室連接的第一管道，所述第一管道內設置冷凝板，冷凝板設置多個且所有冷凝板在第一管道內呈螺旋狀依次佈置。本實用新型的原子層沉積設備的尾氣管道，通過設置多個呈螺旋向下臺階狀分佈的冷凝板，增加與管道內尾氣的接觸面積，能有效冷凝吸附尾氣中含有的粉塵，能大幅降低尾氣迴流造成的腔室污染，減輕particle(微粒)污染的風險，提升產品良率。

天眼查資料顯示，安徽熙泰智能科技有限公司，成立於2016年，位於蕪湖市，是一家以從事其他製造業爲主的企業。企業註冊資本23810.43萬人民幣。通過天眼查大數據分析，安徽熙泰智能科技有限公司共對外投資了7家企業，參與招投標項目45次，知識產權方面有商標信息7條，專利信息446條，此外企業還擁有行政許可9個。

本文源自：金融界

作者：情報員