中科飛測申請設備前端硬件的控制方法及控制系統專利，提升控制系統對設備前端硬件的適應能力

金融界2025年8月9日消息，國家知識產權局信息顯示，深圳中科飛測科技股份有限公司申請一項名爲“設備前端硬件的控制方法及控制系統”的專利，公開號CN120447976A，申請日期爲2024年04月。

專利摘要顯示，本申請實施例公開了設備前端硬件的控制方法及控制系統，用於支持不同品牌不同硬件類型的EFEM硬件之間的自由組合、支持不同品牌不同硬件類型的EFEM硬件的快速切換，以提升控制系統對設備前端硬件的適應能力。本申請實施例方法包括：獲取半導體設備中待部署的設備前端硬件，所述設備前端硬件具有對應的品牌和硬件類型；基於所述設備前端硬件對應的品牌和硬件類型執行所述控制系統的初始化流程，依次進行所述設備前端硬件對應的模型初始化、插件初始化以及驅動初始化；在所述初始化流程結束後，通過所述控制系統控制所述設備前端硬件執行不同操作。

天眼查資料顯示，深圳中科飛測科技股份有限公司，成立於2014年，位於深圳市，是一家以從事儀器儀表製造業爲主的企業。企業註冊資本32000萬人民幣。通過天眼查大數據分析，深圳中科飛測科技股份有限公司共對外投資了12家企業，參與招投標項目263次，財產線索方面有商標信息255條，專利信息1004條，此外企業還擁有行政許可39個。

本文源自：金融界

作者：情報員