中國電科：30臺套SiC外延設備順利發貨

每經AI快訊，2月9日，據中國電科官微消息，SiC外延設備是第三代半導體SiC器件製造的核心關鍵設備之一。裝載着30臺套SiC外延設備從中國電科48所園區順利發貨，這也是48所實現首次大規模批量發貨。目前，該設備已成功出貨百餘臺套，並在客戶現場穩定運行。