浙江兆晶等取得用於碳化硅行星拋光裝置專利 提升碳化硅襯底的拋光效果

金融界2025年6月24日消息，國家知識產權局信息顯示，浙江兆晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司取得一項名爲“一種用於碳化硅行星拋光的裝置”的專利，授權公告號CN223012838U，申請日期爲2024年07月。

專利摘要顯示，本公開涉及半導體晶片加工，提供一種用於碳化硅行星拋光的裝置，包括放置平臺，放置平臺上連接有升降設備，升降設備上連接有安裝架，安裝架上連接有驅動機構，驅動機構上連接有行星輪組，驅動機構能夠驅動行星輪組，升降設備驅動安裝架朝向靠近或遠離放置平臺的方向移動。行星輪組對碳化硅襯底進行更加均勻的拋光打磨，可使碳化硅襯底面型有效收斂，從而提升碳化硅襯底的拋光效果及加工精度。

天眼查資料顯示，浙江兆晶新材料科技有限公司，成立於2022年，位於麗水市，是一家以從事科技推廣和應用服務業爲主的企業。企業註冊資本85000萬人民幣。通過天眼查大數據分析，浙江兆晶新材料科技有限公司參與招投標項目19次，財產線索方面有商標信息1條，專利信息55條，此外企業還擁有行政許可5個。

北京中企祥科技有限公司，成立於2022年，位於北京市，是一家以從事科技推廣和應用服務業爲主的企業。企業註冊資本4000萬人民幣。通過天眼查大數據分析，北京中企祥科技有限公司專利信息118條，此外企業還擁有行政許可1個。

本文源自：金融界

作者：情報員