英特爾代工部門展示互連微縮技術突破性進展
2024年IEEE國際電子器件會議上,英特爾旗下芯片代工業務部門對外展示了多項技術突破,在新材料方面,公司展示了減成法釕互連技術(subtractive Ruthenium),最高可將線間電容降低25% ,有助於改善芯片內互連。封裝工藝上,英特爾代工還公佈了一種用於先進封裝的異構集成解決方案,能將吞吐量提升高達100倍,實現超快速的芯片間封裝(chip-to-chip assembly)。
此外,爲進一步推動全環繞柵極(GAA)微縮,英特爾還推出了硅基RibbionFET CMOS (互補金屬氧化物半導體)技術、用於微縮的2D場效應晶體管(2D FETs)的柵氧化層(gate oxide)模塊等。
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