細美事申請傳送單元及含傳送單元的基板加工裝置專利，公開一種傳送單元及基板加工裝置

金融界2025年6月14日消息，國家知識產權局信息顯示，細美事有限公司申請一項名爲“傳送單元以及包括傳送單元的基板加工裝置”的專利，公開號CN120149229A，申請日期爲2024年12月。

專利摘要顯示，本發明公開了一種傳送單元以及包括傳送單元的基板加工裝置，具體地，基板傳送設備包括：機械手單元；以及配置爲沿第一方向(X軸)以磁懸浮方式移動機械手單元的移動單元，其中，該移動單元包括：包括提供用於磁懸浮的力的電磁體模塊的移動體；以及具有沿第一方向安裝以限定移動體的移動路徑的導軌的軌道結構，並且該電磁體模塊包括：本體；設置在本體的上表面、下表面和一個側表面上的電磁體，該電磁體配置爲懸浮並導向移動體；以及通過用環氧樹脂成形本體和電磁體而形成的環氧成形部。

本文源自金融界