微影半導體、中勤實業 獲准進駐南部科學園區

該管理局表示，微影半導體申請於臺南園區投資設立，主要研發生產半導體曝光機、塗布顯影機及檢測設備；微影半導體採用LED光源及投影鏡頭，可達成0.35微米曝光精度，1：10高焦深，且有節能環保及高性價比等特色，未來進駐臺南園區後，有助於未來國內半導體設備產業國產化之發展。

中勤實業申請於高雄園區投資設立分公司，研發生產半導體及光電產業晶圓用載具、電子及其他高科技產業用載具、晶圓載具智能傳輸設備及晶圓載具清洗循環服務，進駐高雄園區後，將擴大載具高分子塑膠材料與智能傳輸設備之研發量能，以高效塑膠材料及生質油萃取相關技術，提供創新及友善環境之高潔淨材料載具，帶動臺灣綠色循環經濟發展及產業創新轉型，未來進駐高雄園區後，有助於國內半導體材料與設備在地化，同時強化南科半導體產業聚落，並提升臺灣全球關鍵地位。